Conceptul de impedanță de transfer ecran Zt S. Shchelkunov introdus în 1934 este un parametru foarte util pentru estimarea și monitorizarea interacțiunii radiației electromagnetice (EMI) cu ecranare cablu. Deși încă utilizate pe scară largă, acest parametru doar pentru a evalua susceptibilitatea cabluri coaxiale la EMI, acesta poate fi utilizat pentru evaluarea radiației electromagnetice de cabluri coaxiale și ecranate perechii de fire răsucite (STP). În acest articol, acest subiect va fi descris mai detaliat utilizând conceptul de impedanță de transmisie diferențială (Ztd).
Articolul se referă la modulele LED ale furnizorului de componente complexe pentru echipamente de iluminat - companiile NeoSvet: linii și clustere destinate birourilor de iluminat, clădirilor utilitare, străzilor. NeoSvet dezvoltă și produce clustere LED și drivere pentru a comanda, selectează module în conformitate cu calitatea cerută de iluminare.
Articolul analizează principalele caracteristici tehnice, caracteristicile de proiectare și aplicațiile filtrelor EMI (Interference ElectroMagnetic) de la SynQor în aplicații civile și militare. Problemele clasificării interferențelor electromagnetice (EMF) și modalitățile de protecție a echipamentelor radioelectronice de anomaliile apărute în rețelele de energie sunt atinse.
Articolul prezintă o trecere în revistă a cerințelor majore pentru photomasks fiducials de proiectare și, în consecință, fiducials substraturile utilizate în procesele pentru alinierea automată a sistemelor de exemplu EVGroup (EVG).
sisteme de suprapunere a companiei EVG (vezi figura 1) se aplică două sisteme de viziune tehnică. Lucrarea uneia dintre ele se bazează pe recunoașterea imaginilor prin contrast de obiecte, iar cealaltă - pe recunoașterea imaginilor pe modelul vectorial al obiectelor.
Calitatea și repetabilitatea procesului de aliniere sunt cel mai mult influențate de următorii factori:
- configurarea mărcilor de referință;
- contrastul și focalizarea imaginii măștii și a substratului;
Repetabilitatea imaginii;
- vedere liberă a substratului prin fotometru.
Combinația acestor factori determină chiar posibilitatea de a efectua alinierea automată, precum și viteza și precizia acesteia.
Fig. 1. Sisteme automate de înregistrare: a - EVG 620; b - EVG 6200; în - EVG IQ
Sistemul de înregistrare automată poate găsi zonele specificate ale imaginii fotometrului și substratului numai dacă aceste imagini au un contrast suficient. Cu cea mai mică eroare, alinierea se realizează numai cu cea mai precisă transmisie a limitelor de tonuri de gri și a imaginii. Desigur, sistemul poate recunoaște viziune fiducials și nu foarte precise și contrast, dar el a combinat proces va dura mai mult și este mai puțin precisă, care ar duce la o scădere a productivității și a randamentului.
Evident, este imposibil să se obțină fotomasc și substraturi absolut identice. Acest lucru este valabil mai ales luminozitatea imaginii și contrast pe substraturile cauzate de dispersia grosimii materialului fotorezistent depus. Prin urmare, sistemul de viziune tehnică trebuie să găsească imagini care diferă în luminozitate și contrast. Această diferență nu ar trebui să fie prea mare. Trebuie să țineți cont întotdeauna că efectul cel mai negativ asupra funcționării sistemului de viziune este reducerea contrastului imaginii.
Variația definiției formei și modelul este mai puțin critică decât variația luminozitatea și contrastul, dar aceste diferențe au o influență negativă asupra preciziei alinierii automată, și, prin urmare, performanța sistemului. Vorbind despre luminozitatea imaginii scatter și contrastul trebuie, de asemenea, remarcat faptul că variația maximă a acestor parametri se produce atunci când se utilizează substraturi nelustruita ca La trecerea de la un substrat la altul, se observă o schimbare de fond foarte puternică. Prin urmare, este mai bine să evitați utilizarea unor astfel de substraturi în sistemele automate de înregistrare. Dacă acest lucru nu este posibil, atunci sistemul viziune trebuie să asigure recunoașterea imaginii, indiferent de iluminarea substratului (a se vedea. Secțiunea pe principiile sistemelor de vedere).
La efectuarea unui proces tipic prin combinarea latura superioară a substratului în câmpul vizual sunt simultan și ocularele fiducials și fiducials substrat foto-mască. Se poate întâmpla ca modelul substratului să fie închis de la oculare prin modelul de mască, ceea ce poate reduce semnificativ viteza și precizia alinierii automate. Pentru a evita astfel de impuneri de imagini, este necesar să se ia în considerare acest fenomen atunci când se dezvoltă configurația semnelor de referință.
Când se efectuează procedura de înregistrare automată, se efectuează prima căutare a marcajului de referință al aparatului fotografic, care este prezentată în Figura 5 în partea superioară a ferestrei. După aceea, este căutată o marcă de referință pe substrat, care este situată în partea de jos a ferestrei. Apoi, alinierea substratului în raport cu masca, astfel încât punctul de referință al marcajului de aliniere a substratului coincide cu punctul de referință al marcajului de aliniere a foto-mască.
Fig. 5. Semnele de referință ale măsuinului fotografic și ale substratului după aliniere
Acuratețea maximă a alinierii poate fi obținută numai dacă sistemul de vizibilitate tehnică vede atât semnul de referință al măștii foto cât și semnul de referință al substratului în timpul întregului proces de aliniere. Acesta este motivul pentru care se recomandă utilizarea semnelor de referință deplasate pentru sistemele automate de înregistrare.
Cu o astfel de alocare a elementului de referință mărcii, care realizează sistemul de vizualizare de căutare, și punctul de potrivire, nu apare problema de vizionare simultană a mărcilor de referință ale substratului și chiar dacă foto-mască substrat combinat și foto-mască. Prin urmare, sistemul de vizualizare pe tot parcursul procesului este capabil de a vedea fiducials și să facă ajustări la poziția substratului în raport cu masca, dacă este necesar.
Un exemplu de semn de referință pentru o fotometrie cu diviziune în zone este prezentat în figura 6, iar în figura 7 este prezentat semnul de referință al substratului.
Atunci când se efectuează litografie multi-strat pentru a combina diferite straturi, ar trebui folosite diferite repere. Atunci când se utilizează un tip de mărci de referință, este necesar, așa cum sa menționat deja, să se asigure o distanță minimă între ele. Numai în acest caz este posibil să se obțină o precizie ridicată a alinierii. Este necesar să se respecte acest principiu atât atunci când se lucrează cu sistemul de viziune tehnică Matrox, cât și cu sistemul de vizibilitate Cognex.
În cazul în care este imposibil din punct de vedere constructiv să se plaseze setul necesar de repere cu respectarea distanței minime, se recomandă aplicarea sistemului vizual Cognex, deoarece permite utilizarea funcției cheie de identificare a semnului de referință. Datorită acestei chei, sistemul tehnic de vizibilitate poate distinge markeri cu mici diferențe caracteristice.
Atunci când se utilizează funcția de recunoaștere a cheii, căutarea unui semn este efectuată în două etape (a se vedea figura 9).
Fig. 9. Etapele căutării unui marcaj de referință la utilizarea tastelor
În primul rând, recunoașterea are loc în funcție de imaginea anterioară a părții de bază a semnului de referință. Sistemul găsește toate elementele relevante în zona de căutare. Apoi, elementele cheie specificate sunt căutate în marcajele de referință deja găsite. Apoi, sistemul alege exact semnul de referință care corespunde tuturor parametrilor de căutare specificați: corespondența modelului de bază, corespondența elementului cheie. Procesul de înregistrare ulterioară se realizează în conformitate cu semnul de referință ales. Mecanismele de referință cu diferite taste de aliniere sunt prezentate în tabelul 3.
Tabelul 3. Marcări de referință cu diferite taste de aliniere
Articole similare
-
Caracteristici ale sistemelor de închidere pentru diferite aliaje - turnătorie
-
Cum să alegeți filtrul potrivit pentru sistemul automat de udare
-
Ce sistem de operare trebuie să alegeți pentru un articol smartphone sau comunicator
Trimiteți-le prietenilor: