pulverizare ionică, distrugerea unui electrod negativ (catod) într-o descărcare de gaz sub acțiunea impactului ionilor pozitivi. Într-un sens mai larg, distrugerea unei substanțe solide atunci când este bombardată cu particule încărcate sau neutre.
K. r. pe de o parte, un fenomen nedorit care reduce durata de viață a dispozitivelor electrice de vid (a se vedea dispozitivele Electrovacuum); pe de altă parte, K. r. are aplicații practice pentru curățarea suprafețelor, dezvăluind structura substanței (gravarea ionică), depunerea peliculelor subțiri, pentru obținerea grinzilor moleculare direcționate, etc. (vezi galerii moleculare și atomice) etc. Ionii de bombardament, care penetrează în interiorul țintei, determină deplasarea atomilor săi. Acești atomi părtinitori, la rândul lor, pot provoca deplasări noi etc. Unii dintre atomi ajung la suprafața substanței și merg dincolo de ea. În anumite condiții, particulele pot lăsa suprafața țintă sub formă de ioni (vezi emisia ionică). În cristale unice, cele mai favorabile condiții de evacuare a particulelor sunt adăugate în direcții unde densitatea de ambalare a atomilor este cea mai mare. În aceste direcții se formează lanțuri de coliziune (focare), prin intermediul cărora energia și impulsul particulelor deplasate sunt transmise cu pierderi minime. Un rol esențial în dezvoltarea râului. canalizarea ionilor joacă un rol, determinând adâncimea penetrării lor în țintă (a se vedea canalizarea particulelor încărcate).
K. r. este observată la o energie ionică E peste o anumită valoare E0. numit pragul unei variabile aleatoare. Valorile lui E0 pentru diferite elemente variază de la câteva până la câteva zeci de eV. Cantitate K. r. se caracterizează prin coeficientul de pulverizare S egal cu numărul de atomi scos de un ion. În apropierea pragului, S este foarte mic (10 -5 atomi / ion), iar în condiții optime S atinge câteva zeci. Cantitatea S nu depinde de presiunea gazului de la presiuni joase p 2 (0,1 mm Hg. V.), dar când p> 13,3 N / m 2 (0,1 torr. Cm.) Este scăzută prin creșterea S numărul de particule care se depun pe suprafață. Magnitudinea S afectează proprietățile ionilor bombardează - energia Ei (Fig 1.), masa Mi (figura 2), unghiul de incidență pe țintă (Figura 3.), și proprietățile substanței pulverizate - Temperatura suprafeței curățeniei, structura cristalină a , masa atomilor țintă.
Distribuția unghiulară a particulelor emise de suprafața atomizată este anizotropă. Aceasta depinde de energia de ioni și pentru monocristale ca tipul de rețea cristalină și structura feței de pulverizare. Precipitatul de substanța pulverizată care se formează pe ecran, are forma de pete individuale, cu simetria modelului precipitațiilor este aceeași ca și simetria feței prin pulverizare și formate pe ea, ca rezultat al C. p. figurile de gravare (figura 4). Energiile particulelor pulverizate variază de la mai multe părți ale eV la valori ale ordinii energiei ionilor primari. Energia medie a particulelor pulverizate sunt în mod tipic zeci de eV, în funcție de proprietățile caracteristicile materialului țintă și fascicule de ioni.
REFERINȚE Morgulis, ND, Catod Sputtering, "Uspekhi Fizicheskikh Nauk", 1946, v. 28, c. 2-3, p. 202; Pleshivtsev, NV, Cathode Sputtering, M. 1968; Kaminsky M. Coliziuni atomice și ionice pe suprafața unui metal, trans. cu engleza. M. 1967; Thompson M. Defecte și deteriorări la radiații în metale, trans. cu engleza. M. 1971.
Fig. 1. Dependența coeficientului de pulverizare S al unei ținte de cupru asupra energiei E a ionilor bombardați.
Fig. 2. Dependența coeficientului de pulverizare S asupra masei ionilor bombardați Mi (Ei = 400 eV).
Fig. 3. Dependența S pe unghiul de incidență al ionilor bombardând suprafața Cu, Ta, Fe, Pt (numerele indică energia ionilor).
Fig. 4. Deasupra - depozit format pe un ecran transparent plasat fețe paralele pulverizate Cu un singur cristal [a - (100) față, - o față (110), o grupare - (111)], în partea de jos - depresiunea care rezultă astfel, pe suprafața fețelor .
Marea Enciclopedie Sovietică. - Enciclopedia Sovietică. 1969-1978.
Vedeți ce "sputtering catodic" în alte dicționare este:
CATODE SPRAY - distrugerea televiziunii. corpuri atunci când bombardează suprafețele lor cu atomi, nones și neutroni (pentru prima dată, sa observat că catodul a fost distrus într-o descărcare de gaze). Spray produse atomi, pozitive. și negativă. ioni, precum și neutroni. și ionizatoare. Al. complexe ... ... Enciclopedii fizice
CATODE SPRAY - pulverizarea materialului (a se vedea) cu o descărcare de gaz datorită bombardării catodului de către ionii pozitivi. În dispozitivele de evacuare a gazelor. un fenomen dăunător. Precipitarea metalelor prin metoda Kr. este folosit pentru a aplica foarte subțire (fracțiunea de micrometru) ... ... Enciclopedii Politehnice Mare
CATODE SPRAYING - distrugerea suprafeței unui corp solid atunci când este bombardat cu ioni. Inițial, a fost observată ca distrugerea catodurilor în dispozitivele de electrovacuum și de descărcare de gaze. Folosit pentru curățarea suprafețelor ... Dicționar encyclopedic mare
Sprayarea catodului - Pregătirea unei acoperiri prin pulverizarea unui material catodic într-o descărcare de gaz. [GOST 9.008 82] Tematică acoperire metal. și nemetalice. EN catod sputtering DE Kathodenzerstäubung FR pulverization cathodique ... Ghidul traducatorului tehnic
catod de stropire - catodin dulkinimas statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. dezintegrarea catodică; catod de pulverizare; catodic sputtering vok. Katodenzerstäubung, f rus. catod de sputtering, n; catod de pulverizare, n pranc. désagrégation de cathode, f; ... ... Fizikos terminų žodynas
catod de stropire - distrugerea suprafeței unui solid atunci când bombardat cu ioni. Inițial, a fost observată ca distrugerea catodurilor în dispozitivele de electrovacuum și de descărcare de gaze. Folosit pentru curățarea suprafețelor. * * * CATHODE CASTING DISPLAY, ... ... Dicționar enciclopedic
catod de pulverizare - catodinis dulkinimas statusas T sritis chemija apibrėžtis Katodo dispergavimas elektros lanke. atitikmenys: angl. catod sputtering rus. catod de pulverizare ... Chemijos terminų aiškinamasis žodynas
CATODE SPRAYING - sputtering în va de la suprafața unui corp solid atunci când este bombardat cu ioni. Inițial, a fost observată ca distrugerea catodurilor în dispozitivele de electrovacuum și de descărcare de gaze. Se folosește pentru curățarea suprafețelor și a structurilor care dezvăluie în ... (Dicționar mare politonic encyclopedic
aspersoare catodice - prepararea unei pelicule subțiri de acoperire prin pulverizarea unui material catodic într-o descărcare de gaz; Vezi și: Sprayarea pulverizării centrifuge prin pulverizare prin pulverizare cu apă ... Dicționar Enciclopedic al Metalurgiei
Sputtering catodic - Distrugerea stratului de suprafață al unui catod în timpul unei descărcări electrice datorită impactului ionilor pozitivi asupra catodului ... Dicționar terminologic politehnic
- Metode de obținere și proprietăți ale nanoobiectelor. Manualelor. N. Minko. Manualul descrie principalele metode de obținere a nano-obiecte, nanoparticule, nanostructuri: Nanoassembly, bombardament ionic, undele de șoc, evaporare în vid, pulverizare, ... Read More Cumpără pentru 288 de ruble
- Metode de obținere și proprietăți ale nanoobiectelor. Manualelor. Minko N.I. Manualul descrie principalele metode de obținere a nano-obiecte, nanoparticule, nanostructuri: Nanoassembly, bombardament ionic, undele de șoc, evaporare în vid, pulverizare, ... Read More Cumpără pentru 226 ruble
- Metode de obținere și proprietăți ale nanoobiectelor. N. I. Minko, V. V. Strokova, I. V. Zhernovsky, V. M. Nartsev. Manualul descrie principalele metode de obținere a nano-obiecte, nanoparticule, nanostructuri: Nanoassembly, bombardament cu ioni, unde de șoc, evaporare în vid, pulverizare, ... Read More Cumpără pentru 205 UAH (Ucraina numai)
Articole similare
Trimiteți-le prietenilor: