Epitaxial (diodele plane, epitaxial-planar de difuzie) sunt produse prin metoda epitaxiei și a difuziei locale.
Epitaxia este procesul de construire a straturilor monocristaline pe un substrat, care joacă rolul de structură de susținere structurală, menținând în același timp orientarea cristalelor de substrat.
Epitaxia permite creșterea straturilor de orice tip de conductivitate, rezistivitatea necesară și orice grosime (până la câteva micrometri).
Difuzia locală este crearea unei joncțiuni p-n prin difuzarea atomilor de impurități în stratul epitaxial printr-o fereastră într-o mască (de exemplu, oxid de siliciu)
Fig. 6.4 Diodă epitaxial-plană, tranziție p-n -1
Secvența de fabricație. baza este fabricat prin construirea pe un substrat (4), cu un strat n-conductivitate ridicată epitaxiale clorhidric (3) cu o conductivitate mai mică, oxidarea (2) - crearea unui strat de oxid de Si02. formarea unei „ferestre“ în stratul de oxid de siliciu Si02 = bioxidul corodare pelicula de oxid, iar apoi produce difuzia impurităților donoare (bor sau aluminiu) în stratul epitaxial printr-o fereastră, se creează p-n joncțiune (1).
Plăcile sunt metalizate pe n + și p + pentru conductori.
Se realizează formarea de conducte și instalarea în corpus.
Diodele de difuzie a planului se caracterizează prin fiabilitate ridicată, stabilitate a parametrilor și durată lungă de viață.
Diodele planare au zone de tranziție mari, ceea ce înseamnă că au capacități mari și curenți mari de funcționare (până la sute și chiar mii de amperi). Folosit în dispozitive electronice cu putere redusă de putere redusă (putere).
Articole similare
Trimiteți-le prietenilor: