Dezvoltatori: stocare și epuizare
Îmbătrânirea dezvoltatorilor (soluții apoase de alcalii) se produce datorită absorbției de CO2 din aer, ca urmare a scăderii vitezei de dezvoltare, de exemplu într-o soluție standard de 1% KOH. De aceea, dezvoltatorul pregătit trebuie depozitat într-un recipient bine închis. Dezvoltatorii, care sunt echipați cu fotorezistenți, sunt soluții tampon, de exemplu, dezvoltatorul UPF-1B. Acest dezvoltator suprimă o scădere a valorii pH-ului, datorită absorbției de CO2 din aer, ceea ce permite menținerea unui ritm constant de dezvoltare pentru o perioadă lungă de timp.
Depleția dezvoltatorului este o consecință nu numai a absorbției de CO2 din aer, ci și a acumulării de rezistență dizolvată (dezvoltată) în dezvoltator. Există o regulă simplă: atunci când se dizolvă un gram de rezistență într-un litru de dezvoltator, rata de manifestare scade cu 10%, iar dezvoltatorul trebuie schimbat. Tabelul 1 arată numărul limitat de plăci care pot fi dezvoltate în 1 litru de dezvoltator pentru diferite mărci de fotorezistoare și diametre plăci. Când se dizolvă aproximativ 10 grame de rezistență în 1 litru de dezvoltator, rata de dezvoltare devine zero.
Numărul permis de plăci care pot fi dezvoltate în 1 litru de dezvoltator.
Număr plăci, buc.
Diametrul plăcilor, mm
Concentrația și selectivitatea dezvoltatorilor
Raportul dintre vitezele de dizolvare a filmului fotorezistent expus și cel neexpus este numit selectivitatea manifestării. Selectivitatea manifestării determină unul dintre cei mai importanți parametri ai fotorezistului - contrastul manifestării. La rândul său, contrastul manifestării depinde puternic de concentrarea dezvoltatorului. Prin urmare, folosind dezvoltatorul de UPP-1B la diluții diferite, este posibil să se atingă o rată ridicată de dezvoltare la un contrast rezonabil al imaginii.
Dependența de temperatură a vitezei de dezvoltare depinde de energia de activare a difuziei dezvoltatorului în filmul rezistent și de reacțiile chimice implicate în manifestare. Se recomandă menținerea constantă a temperaturii, la temperaturi mai scăzute este mai bine să se folosească dezvoltatorul tampon UPF-1B.
Doza de expunere și rata de manifestare
Chinondiazid-sulfonatul, care face parte din fotorezistenții pozitivi, inhibă dizolvarea filmului în soluții alcaline cu 1-2 ordine de mărime. Dimpotrivă, produsul fotoreacției acidului indencarboxilic crește rata de dizolvare a filmului cu aproximativ aceeași cantitate.
Pentru filme subțiri (1-2 microni fotorezist OP-383), în lumina expunerii penetrează întreaga grosime a filmului, și după o anumită doză de film fotorezist este dezvoltat la o viteză mare. O creștere suplimentară a dozei de expunere nu afectează practic rata de dezvoltare. Cu toate acestea, pentru filmele groase (fotorezistoare FP-25, FP-201) situația este complet diferită. Lumina de expunere nu penetrează întreaga adâncime a filmului. Există granița dozei de expunere în care există o decolorare treptată a filmului, în banda de absorbție a unei reacții fotochimice. Până la o anumită doză de expunere, rezistorul nu poate fi expus la substrat.
Tampon universal concentrat dezvoltator UPF-1B
- Este folosit pentru a afișa orice Fotorezistul pozitive atât interne, cât și importate, cum ar fi OP-383, OP-25, OP-9120, S1813, S1818, AZ, etc.
- Oferă reproductibilitatea stadiului de manifestare. Detectează doza de expunere insuficientă, de exemplu, ca urmare a deteriorării parametrilor lămpii ultraviolete.
- Mentine concentratia solutiei in curs de dezvoltare in timpul functionarii.
- Oferă pregătirea dezvoltatorului gata în orice cantitate necesară pentru muncă.
- Funcționează bine la temperaturi mai scăzute decât dezvoltatorii standard.
- Nu există nicio reapariție a elementelor critice ale imaginii.
- Oferă un aspect moale, cu muchii ascuțite și ascuțite ale modelului.
- Asigură puritatea manifestării. Dezvoltatorul de UPP-1 a fost filtrat printr-un filtru cu o dimensiune a porilor de 1 μm.
- Păstrează stabilitatea timp de un an.
- Nu este nevoie să cumpărați și să păstrați reactivi chimici corozivi și higroscopici care se dezvoltă chimic.
- Nu este nevoie să verificați echilibrul și titratorul, prezența pipeturilor, biuretelor, titlurilor standard și multe altele.
- Dezvoltatorul UPF-1 este pregătit de către chimiștii profesioniști, este constant proaspăt pe toată perioada de depozitare. Este suficient să se dilueze cu apă distilată sau deionizată.
Dezvoltatorul UPF-1B este un concentrat. Pentru muncă, dezvoltatorul trebuie diluat cu apă distilată sau deionizată în raportul indicat în Tabelul 2.
Grad de diluare a dezvoltatorului UPF-1B pentru lucrul cu fotorezist pozitiv.
Trimiteți-le prietenilor: